應用(yòng)案例 | JUMO産品在半導體行業的應用(yòng)

      半導體産業是構建我國戰略科技力量自(zì)立自(zì)強的核心支撐産業，而半導體零部件生産設備則是決定我國半導體産業高(gāo)質量發展的關鍵領域。目前半導體設備市場多爲海外(wài)廠(chǎng)商壟斷，國産設備企業在國家政策和(hé)自(zì)身技術的支持下(xià)正在奮起直追，尤其在刻蝕設備、薄膜沉積設備和(hé)測試設備已取得戰略突破。

      JUMO憑借豐富的半導體行業應用(yòng)經驗，積極配合國内半導體行業進行深度定制化開(kāi)發，緻力于提供更有潛在節約性的整體解決方案。JUMO将在溫度和(hé)壓力的測量、監控、控制領域提供更多更有效的解決方案。

久茂産品的運用(yòng)

◆熱處理(lǐ)工(gōng)藝設備

真空(kōng)退火爐、真空(kōng)回火爐、高(gāo)壓真空(kōng)氣淬爐

      熱處理(lǐ)工(gōng)藝設備中需要對(duì)爐内溫度的穩定性和(hé)均勻性進行良好(hǎo)的檢測與測量，從(cóng)而達到(dào)對(duì)工(gōng)件的精細處理(lǐ)，使被處理(lǐ)的工(gōng)件性能(néng)得到(dào)顯著改善，表面光亮(liàng)淨化，材質得到(dào)充分利用(yòng)。根據不同的爐膛溫度選擇熱電偶/電阻進行測溫，并通過PID控制器和(hé)安全溫度限值器保證爐内溫度的均勻性及穩定性：

◆刻蝕設備

      等離子幹法刻蝕技術是利用(yòng)等離子體進行薄膜微細加工(gōng)的技術。在典型的幹法刻蝕工(gōng)藝過程中，一種或多種氣體原子或分子混合于反應腔室中，在外(wài)部能(néng)量作(zuò)用(yòng)下(xià)（如射頻、微波等）形成等離子體，幹法刻蝕技術由于具有良好(hǎo)的各向異性和(hé)工(gōng)藝可控性已被廣泛應用(yòng)于微電子産品制造領域，該工(gōng)藝環節對(duì)溫度、壓力參數有着苛刻的一緻性和(hé)穩定性要求，以保持等離子濃度及流動性處于高(gāo)度可控狀态通過，JUMO産品應用(yòng)如下(xià)：

◆清洗設備

       清洗工(gōng)藝主要用(yòng)于去除芯片制造中上(shàng)一道(dào)工(gōng)序所遺留的超微細顆粒污染物、金(jīn)屬殘留、有機物殘留物，去除光阻掩膜或殘留，也(yě)可根據需要進行矽氧化膜、氮化矽或金(jīn)屬等薄膜材料的濕法腐蝕，爲下(xià)一步工(gōng)序準備好(hǎo)良好(hǎo)的表面條件。JUMO水(shuǐ)質分析産品對(duì)清洗液水(shuǐ)質參數進行監測，以保證清洗程度，産品應用(yòng)如下(xià)：

總結

      JUMO豐富的産品系列，爲客戶提供了(le)整體解決方案；完整的認證，滿足了(le)半導體行業客戶的不同需求；強大(dà)的定制化能(néng)力，有效的契合了(le)客戶的運用(yòng)要求；合理(lǐ)靈活的合作(zuò)模式也(yě)推進了(le)JUMO在半導體行業的産品推廣運用(yòng)；随着行業的發展及與客戶的深入合作(zuò)，JUMO将提供更多的産品滿足客戶的需求。